pid="b16VB3K-">薄层电阻是一种简单快速的测量技术，薄层电阻率定义式为：

其中： � 是电阻率，t是厚度， �□ 薄层电阻的单位是Ω/□。

常见用于测量薄层电阻的是四探针（4PP），四根等间探针呈直线分布或正反向分布，两个探针测量电流，两个探针测量电压。测量过程假设电流只在探针接触区流动，两个探针间流过稳定电流，测量另外两个探针间的电压降。掺杂原子的均匀性可以通过在硅片表面一系列的测试获得。