ID #1038 生产中,应该在什么阶段测量硅片? ~ 0 min TLM 2023-10-11 03:33 0 篇/评论 输出为PDF文件 可以对初始硅片进行测试,然后在磷扩散之后再次测试(来监控工艺流程前端的掺杂质量和硅片污染情况)。使用产线寿命测试仪也可以对氮化硅沉积工艺进行优化和监控。 标签: 寿命测试仪.Suns-Voc