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澳
生
电
硅
科
组
薄
购
这
钙
非
生产中，应该在什么阶段测量硅片?
可以对初始硅片进行测试，然后在磷扩散之后再次测试（来监控工艺流程前端的掺杂质量和硅片污染情况）。使用产线寿命测试仪也可以对氮化硅沉积工艺进行优化和监控。 ...